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La presente invención se refiere a un generador de plasma que genera un plasma con un proceso de ionización de varios pasos. El generador de plasma incluye una fuente de átomos excitados que genera átomos excitados a partir de átomos en estado de reposo suministrados por una fuente de gas de alimentación. Una cámara de plasma confina un volumen de átomos excitados generados por la fuente de átomos excitados. Una fuente de energía está acoplada al volumen de átomos excitados confinados por la cámara de plasma. La fuente de energía eleva la energía de los átomos excitados en el volumen de átomos excitados de manera que al menos una parte de los átomos excitados en el volumen de átomos excitados se ioniza, generando así un plasma con un proceso de ionización de varios pasos.
El plasma se considera el cuarto estado de la materia. Un plasma es un conjunto de partículas cargadas que se mueven en direcciones aleatorias. Un plasma es, en promedio, eléctricamente neutro. Un método para generar un plasma consiste en hacer pasar una corriente a través de un gas a baja presión entre dos electrodos conductores colocados en paralelo. Una vez que se cumplen ciertos parámetros, el gas se “descompone” para formar el plasma. Por ejemplo, se puede generar un plasma aplicando un potencial de varios kilovoltios entre dos electrodos conductores paralelos en una atmósfera de gas inerte (por ejemplo, argón) a una presión que está entre aproximadamente 10-1 y 10-2 Torr.
Qué es un generador de plasma
Esta patente describe un aparato para producir una descarga de gas ionizado neutro, denominado plasma, sustancialmente libre de contaminación con partículas de gas neutro. El generador de plasma de la presente invención comprende una cámara de plasma en la que el gas introducido en la cámara es ionizado por una fuente de radiofrecuencia. Un campo magnético se utiliza para enfocar el plasma en línea con una salida. Este campo magnético coopera con una presión diferencial creada a través de la salida para extraer un plasma uniforme y no contaminado de la cámara de plasma.
abstractNote = {Esta patente describe un aparato para producir una descarga de gas ionizado neutro eléctrico, denominado plasma, sustancialmente libre de contaminación con partículas de gas neutro. El generador de plasma de la presente invención comprende una cámara de plasma en la que el gas introducido en la cámara es ionizado por una fuente de radiofrecuencia. Un campo magnético se utiliza para enfocar el plasma en línea con una salida. Este campo magnético coopera con una presión diferencial creada a través de la salida para extraer un plasma uniforme y no contaminado de la cámara de plasma,}
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Este artículo puede ser demasiado técnico para la mayoría de los lectores. Por favor, ayude a mejorarlo para que sea comprensible para los no expertos, sin eliminar los detalles técnicos. (Marzo 2022) (Aprende cómo y cuándo eliminar este mensaje de la plantilla)Arriba: Los rayos y las luces de neón son generadores habituales de plasma. Abajo a la izquierda: Un globo de plasma, que ilustra algunos de los fenómenos de plasma más complejos, incluida la filamentación. Abajo a la derecha: Una estela de plasma del transbordador espacial Atlantis durante su reentrada en la atmósfera terrestre, vista desde la Estación Espacial Internacional.
El plasma (del griego antiguo πλάσμα (plásma) ‘sustancia moldeable’)[1] es uno de los cuatro estados fundamentales de la materia. Contiene una parte importante de partículas cargadas: iones y/o electrones. La presencia de estas partículas cargadas es lo que diferencia principalmente al plasma de los demás estados fundamentales de la materia. Es la forma más abundante de la materia ordinaria en el universo,[2] y se asocia principalmente a las estrellas,[3] incluido el Sol[4][5].
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ResumenSe ha realizado un estudio del flujo homogéneo completamente desarrollado de un plasma parcialmente ionizado a dos temperaturas en el canal de un generador de Hall tipo disco. Los experimentos con un generador de tipo disco se describen en [1, 2]. En un planteamiento simplificado, el problema es análogo al considerado en [3]. En el presente artículo se tienen en cuenta las reacciones químicas de ionización y recombinación. La ecuación de energía para un gas de electrones se reduce a una forma diferencial que permite aclarar la cuestión de la aplicabilidad de la fórmula de Kerrebrock [4] para la diferencia de temperaturas de los electrones y las partículas pesadas.
Fluid Dyn 5, 911-919 (1970). https://doi.org/10.1007/BF01015089Download citationShare this articleAnyone you share the following link with will be able to read this content:Get shareable linkSorry, a shareable link is not currently available for this article.Copy to clipboard